案例來源：綠能產業技術升級輔導團

文：周一成／攝影：李壽南

成立於1990年的臺禹科機(股)公司（IPI），為新竹地區一家高科技設備供應商，原本生產販售較低階製程廢氣處理設備（local scrubber），處理溫室效應氣體（perfluo-compounds, PFCs），既須耗能且效率不佳。

近年來，隨著科技產業聚落形成，處理半導體、光電廠等製程廢氣益顯重要，臺禹科機也面臨到與國外設備廠商日益嚴峻之競爭壓力，與國內客戶對設備升級之企盼。由於自製機台性能不敵國外一流產品（如德商DAS、英商BOC Edwards），因此產品銷售無法進一步提昇。

吳宗學董事長為了建立臺禹科機的核心技術，雖然公司資本額僅有數千萬，但歷年來已總共花費達2600萬元，投注在設備效能改善上，並就地緣之利與工研院搭上合作突破技術破瓶頸之機會。

雙方透過技術處FY97主導性新產品「蓄熱循環式尾氣處理設備」計畫、FY98業界科專「薄膜與乾蝕刻製程PFCs與奈米微粒低溫處理技術開發」計畫等之合作，開發領先全球之高階環保設備，師法大自然雨滴形成機制，讓奈米微粒藉由核凝成長原理，長成為微米級的液滴，然後再藉由濕式靜電的方式，可在低於國外一流產品（如德商DAS、英商BOC Edwards）600℃條件下，將溫室氣體（PFCs）與奈米微粒同步去除，具有溫室效應氣體減量及節能減碳效益，相較市售產品可節約30-50能源操作成本、奈米微粒攔截效率可達95％以上。

「讓台灣享有高科技產業的經濟果實並保有潔淨健康的空氣品質」是吳宗學董事一直強調的發展重點。為進一步移轉工研院新研發的「低溫PFCs處理技術」，臺禹科機未來已打算再投資數千萬台幣來生產新的local scrubber機台，爭取國內外的市場，大家可要拭目以待了。